硅膜片谐振式差压变送器工作原理简介 日本横河 横河变送器差压变送器原理，横河EJA，横河EJX 位于高压端和低压端的金属膜片受到过程压力，通过密封液分别传送到单晶硅片的上下两面。在单晶硅片中，有2个振子腔体，2个振子的固有频率之差就是差压信号。真空腔体中的振子是经过精细加工的(H型谐振梁的长约700μm，宽约25μm，厚约5μm)。由于振子H型谐振梁的4端与单晶硅连接，所以当单晶硅变形时，振子振动频率与压力差成正比例，固有振动频率发生变化。通过永磁体给振子一个磁场，振子的半片和剩余的半片构成一个励磁电路，测量出该电路的固有频率，将该固有频率与另一个振子的固有频率之差转换成差压信号。将差压信号转换成4-20mA、脉冲或数字信号输出。 单晶硅谐振式差压变送器原理单晶硅谐振式差压变送器原理单晶硅谐振式差压变送器原理

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