能谱仪(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析扫描电镜原理，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。

其原理是扫描电镜原理：

当X射线光子进入检测器后，在Si（Li）晶体内激发出一定数目的电子空穴对扫描电镜原理。产生一个空穴对的最低平均能量ε是一定的（在低温下平均为3.8ev），而由一个X射线光子造成的空穴对的数目为N=△E/ε，因此，入射X射线光子的能量越高，N就越大。利用加在晶体两端的偏压收集电子空穴对，经过前置放大器转换成电流脉冲，电流脉冲的高度取决于N的大小。电流脉冲经过主放大器转换成电压脉冲进入多道脉冲高度分析器，脉冲高度分析器按高度把脉冲分类进行计数，这样就可以描出一张X射线按能量大小分布的图谱。

透射电镜能谱和扫描电镜能谱只是能谱仪安装在透射电镜和扫描电镜上的区别